Advances in resist technology - March 12-13, 1984, Santa Clara, California
- Författare
- (C. Grant Willson, chairman/ed.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| cop. 1984 | USA, Bellingham, Wash | 195 sidor. diagr., ill. |